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石墨舟取芯
主要特点
1、能准确的使石墨舟承载装片车定位；
2、采用不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
3、采用GK系列空气过滤器3只；
4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度；
5、净化风机噪音小于50dB。
6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。
电话：13323223901
联系人：王经理
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邮箱:1245345685@qq.com
