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石墨舟取芯主要特点 能准确的使石墨舟承载装片车定位； 采用不锈钢制造，整机结构坚固； 采用GK系列空气过滤器只； PECVD承载车在里面可倾斜度或旋转度； 净化风机噪音小于dB。 工作区内工艺要求的洁净度。
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