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石墨舟取芯

发布者:保定胜策自动化科技有限公司    发布时间:2019-02-28
石墨舟取芯

石墨舟取芯

主要特点



1、能准确的使石墨舟承载装片车定位;

2、采用不锈钢制造,整机结构坚固可靠;

3、采用GK系列空气过滤器3只;

4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;

5、净化风机噪音小于50dB。

6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。

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