石墨舟加工(厂家,厂,价格,哪家好,供应) - 保定胜策自动化科技有限公司

石墨舟加工

发布者：保定胜策自动化科技有限公司发布时间：2019-02-28

晶体硅太阳电池片的生产中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是在硅片上沉积一层介质薄膜，一般是氮化硅薄膜，硅片的太阳能转化率。这个工序用石墨舟装载硅片。把硅片放到石墨舟中，经过一些的条件产生化学反应，在硅片表面沉积上一层薄膜。
石墨舟作为太阳能电池片沉积介质薄膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、套、杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
石墨舟片是组成石墨舟的重要组成部分，是用于固定镀膜硅片的装置。实际工艺中硅片插在石墨舟片上，完成镀膜工艺。
在一个新石墨舟，或者经过清洗的石墨舟，在做生产工艺之前要放到PECVD工艺腔体中做饱和工艺。饱和工艺是拟真实生产工艺环境，使石墨舟表面沉积一层介质薄膜。经过饱和的石墨舟在进行生产工艺时，可以减少PECVD镀膜引起的硅片内及硅片间介质层厚度和折射率不均匀产生的沉积薄膜不均匀从而产生基片内颜色差异等问题。
除了空石墨舟饱和以外，还有一种饱和方法是将石墨舟插满假片，假片可能是石墨或硅片或其他材料。目的是在饱和的时候，未来硅片覆盖的区域不沉积介质层。这样可以进一步镀膜均匀性，从而提品的良品率，并延长石墨舟使用寿命。
然而，由于通常所镀的薄膜的材料为氮化硅，经饱和工艺处理后的石墨舟在使用一些的次数后，硅片镀膜后颜色差异会逐渐增加，不得不清洗石墨舟，洗去石墨舟上沉积的氮化硅薄膜，然而清洗石墨舟通常采用酸性药液，不但除去了氮化硅薄膜，还对石墨舟造成腐蚀，从而导致石墨舟的寿命缩短，还增加了工艺步骤和成本。